氦-3等同位素氣體的分離主要方法有氣體擴散法離子交換法、氣體離心法，另外還有蒸餾法、電解法、電磁法、電流法等，其中以氣體擴散法最成熟?！皾饪s”的使用涉及旨在提高某一元素特定同位素豐度的同位素分離過程，例如從天然鈾生產(chǎn)濃縮鈾或從普通水生產(chǎn)重水。

氣體擴散法

這是商業(yè)開發(fā)的第一個濃縮方法。該工藝依靠不同質(zhì)量的同位素在轉(zhuǎn)化為氣態(tài)時運動速率的差異。在每一個氣體擴散級，當高壓氣體透過在級聯(lián)中順序安裝的多孔鎳膜時，其輕分子氣體的氣體更快地通過多孔膜壁。這種泵送過程耗電量很大。已通過膜管的氣體隨后被泵送到下一級，而留在膜管中的氣體則返回到較低級進行再循環(huán)。在每一級中，濃度比僅略有增加。濃縮到反應堆級的鈾-235豐度需要1000級以上。

氣體離心法

在這類工藝中，氣體被壓縮通過一系列高速旋轉(zhuǎn)的圓筒，或離心機。同位素重分子氣體比輕分子氣體更容易在圓筒的近壁處得到富集。在近軸處富集的氣體被導出，并輸送到另一臺離心機進一步分離。隨著氣體穿過一系列離心機，其同位素分子被逐漸富集。與氣體擴散法相比，氣體離心法所需的電能要小很多，因此該法已被大多數(shù)新濃縮廠所采用。