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碳酰氟(CF2O)是高純電子氣體,國內(nèi)準備大規(guī)模生產(chǎn)

  • 發(fā)布時間:2025-05-19
  • 發(fā)布者: 本站
  • 來源: 原創(chuàng)
  • 閱讀量:
碳酰氟(CF2O)
產(chǎn)品說明


碳酰氟,又名氟光氣,是一種含氟、非易燃、有毒氣體,化學式為CF2O,主要用作半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣,也可用作有機合成的中間體、氟化劑。


 


技術指標


組成


單位


指標


碳酰氟(CF2O)


wt%


≥99.0


三氟乙酰氟


wt%


≤0.5


其他


wt%


≤0.5


 


理化指標


檢測項目


單位


指標


化學名稱


/


三氟乙酰氟


CAS


/


353-50-4


分子式


/


CF2O


結構式


/






分子量


g/mol


66.01


沸點(1atm)





-84


臨界溫度





22.8


液體密度


g/ml


1.14


 


包裝方式


本產(chǎn)品充裝在鋼瓶或運輸槽罐中,鋼瓶包裝規(guī)格1000 kg/1000 L,鋼瓶充裝系數(shù)0.5 kg/L;鋼瓶或運輸槽罐外附有標簽、合格證,注明牌號、商標、批號。


 


注意事項


1.產(chǎn)品儲存時要遠離火源、熱源,防止超壓;儲存場所必須有良好的通風裝置。
2.高溫天氣,要對露天存放的鋼瓶進行防曬降溫措施,防止超壓。
3.本品按危險品運輸,運輸過程中應避免受熱或劇烈震動。

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