三氯化硼，化學式為BCl3，外觀為無色發(fā)煙液體或氣體，有刺激性和酸味，有毒，屬于危險化學品。三氯化硼易潮解，遇水分解成氯化氫和硼酸，溶于醇，分解成鹽酸、硼酸酯，溶于苯、二硫化碳等一些有機溶劑。電子級三氯化硼是用于半導體和集成電路領域的高純度三氯化硼，其純度需要達到99.999%以上。

電子級三氯化硼用于電子工業(yè)，可用于半導體硅器件和集成電路制造過程中的離子注入、擴散摻雜、干法刻蝕等環(huán)節(jié)?？捎糜阡X、二硅化鉬、二硅化鎢、鈦硅合金等金屬、金屬化合物、合金材料的蝕刻，具有很強的不可替代性。電子級三氯化硼的雜質(zhì)含量和純度直接影響半導體器件和集成電路的性能指標和良率。其純度要求在5N以上，生產(chǎn)技術壁壘高。

三氯化硼的生產(chǎn)是在惰性氣體環(huán)境中，在一定的溫度條件下，以硼粉和氯氣為原料，反應得到粗品，然后精餾得到三氯化硼。電子級三氯化硼在精制三氯化硼的基礎上，通過吸附、蒸餾等工藝提純得到最終產(chǎn)品。由于技術壁壘高，2018年之前，我國沒有電子級三氯化硼產(chǎn)業(yè)。三氯化硼產(chǎn)能、市場需求依賴進口，主要從美國空氣化工、美國普萊克斯、英國中銀集團等公司進口。

從2018年至今，我國陸續(xù)有電子級三氯化硼項目建設，年產(chǎn)能可以達到千噸以上。隨著我國電子級三氯化硼行業(yè)規(guī)模正在不斷擴大，產(chǎn)能正在不斷擴張，若生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定能夠達到下游客戶要求，將逐步得到市場認可，在國內(nèi)市場中的占有率有望不斷提升。若目前已建成或正在建設的本土電子級三氯化硼產(chǎn)能能夠持續(xù)穩(wěn)定供貨，我國電子級三氯化硼進口依賴度將持續(xù)下降。