三氟甲烷在電子行業(yè)未來發(fā)展空間大
- 發(fā)布時間：2022-09-07
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三氟甲烷是一種有機化合物，化學式為CHF3，常溫常壓下為無色氣體，其性質穩(wěn)定，可溶于水，丙酮、無水乙醚、甲醇等部分有機溶劑，不導電，不可燃燒，但在高溫條件下可受熱分解，分解產物為有毒氟化氫氣體。
根據(jù)新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的《2021-2025年三氟甲烷行業(yè)深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，三氟甲烷由于消耗臭氧潛能值（ODP）為零，可取代氯氟烴（CFC）例如CFC-13用作低溫制冷劑、滅火劑。三氟甲烷也可用作超臨界萃取溶劑，以及有機合成中間體，用來制取四氟乙烯等產品。在電子產業(yè)中，三氟甲烷可用作等離子體化學蝕刻劑，在二氧化硅膜刻蝕方面具有速度快、選擇性優(yōu)等特點。
我國三氟甲烷生產商主要包括專業(yè)氣體公司和氟化工企業(yè)兩大類，三氟甲烷制取的一個重要途徑是氟化工行業(yè)副產物提純，是以二氟一氯甲烷R-22（CHClF2）制備過程中的副產物為原料，通過精餾等工藝制得。三氟甲烷雖然不破壞臭氧層，但其全球變暖潛能值（GWP）高，是一種強溫室氣體。與國外企業(yè)相比，國內三氟甲烷生產商在高純產品生產方面實力較弱，電子級三氟甲烷需求對外依賴度較大。在R-22生產過程中，副產物三氟甲烷產量較大，三氟甲烷具有較高利用價值，若直接銷毀處理不僅浪費資源，也不利于企業(yè)提高營收能力，因此副產物回收再利用前景好。如何低成本、高效率的提純得到電子級三氟甲烷是行業(yè)未來發(fā)展所需關注的重點。
