2022年后電子級六氟化硫SF6氣體逐漸實現(xiàn)國產(chǎn)替代 

六氟化硫（化學式：SF6）在正常條件下是一種無色、無味、無毒、無味和不易燃的氣體。作為一種電子氣體，六氟化硫具有良好的化學穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性和耐熱性。廣泛應(yīng)用于半導體、電力設(shè)備、航空航天、半導體制造、金屬加工、醫(yī)藥等領(lǐng)域。

根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同，六氟化硫可分為工業(yè)六氟化硫和電子六氟化硫。近年來，隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)的進步，市場對電子氣體的純度和質(zhì)量提出了越來越高的要求。在此背景下，六氟化硫行業(yè)正逐步從工業(yè)質(zhì)量升級為電子質(zhì)量。